Une hiérarchie de processus comprend un ensemble de processus et de liens de décomposition qui les relient.
A chaque niveau de décomposition, les processus peuvent représenter différents types de fonction. Dans l'exemple suivant, le processus Marketing est un service, Corporate Web Site est un projet et Analyze needs est une activité :
ISi vous utilisez le langage de processus Data Flow Diagram, vous pouvez analyser chaque processus au premier niveau de votre hiérarchie dans le contexte de son propre diagramme afin de montrer les principales relations entre l'organisation et les entités externes qu'elle gère (voir Gestion du diagramme de flux de données).